Cathodic Arc Synthesis of Ti-Si-C-N Thin Films : Plasma Analysis and Microstructure Formation
Anders Eriksson
Bok 2012
Utgitt | Linkopings Universitet , 2012
|
---|---|
Utgave | 1st ed.
|
ISBN | 9789175197142
|
Utgitt | Linkopings Universitet , 2012
|
---|---|
Utgave | 1st ed.
|
ISBN | 9789175197142
|