Entwicklung eines neuartigen elektrischen Rasterkraftmikroskopie-Tests zur quantitativen Bestimmung von Gleich- und Wechselspannungen bis über 100 GHz in integrierten mikroelektronischen Schaltungen

Volker Wittpahl
Bok · Tysk · 2000

Utgitt	Düsseldorf : VDI-Verlag , 2000
Omfang	XIV, 219 s. : ill.
Opplysninger	Avhandling (Dr.-Ing.) - Gerhard-Mercator-Universität - Gesamthochschule Duisburg, 2000
ISBN	3183324091