Testing av fotoresister for fine geometerier [sic]
D. J. Ruzicka og G. Paulsrud
Bok Bokmål 1981
Utgitt | Oslo : Sentralinstitutt for industriell forskning , 1981
|
---|---|
Omfang | 52 bl. : ill.
|
Opplysninger | Oppdragets tittel: Fotoresist for fine geometrier
|
Emner | |
ISBN | 8272673193
|