Groing, doping og etsing av polykrystallinsk silisium
Øyvind Engebretsen
Bok Bokmål 1982 Øivind Engebretsen
| Utgitt | Oslo : Sentralinstitutt for industriell forskning , 1982
|
|---|---|
| Omfang | 17 bl. : ill.
|
| Opplysninger | Oppdragets tittel: Kjemisk gassfasedeponering
|
| Emner |
