Applications of artificial microcavities in wafer bonded silicon
Zhaohua Xiao
Bok Engelsk 1996
Utgitt | Göteborg : Department of Solid State Electronics, Chalmers University of Technology , 1996
|
---|---|
Omfang | 1 b. (flere pag.) : ill.
|
Opplysninger | Påstemplet: Doktorsavhandlingar vid Chalmers tekniska högskola. Ny serie. Nr 1165
|
Emner | |
ISBN | 9171972471
|