Fundamentals of microfabrication

Marc Madou
Bok · Engelsk · 1997

Utgitt	Boca Raton, Fla. : CRC Press , c1997
Omfang	589 s., pl. : ill.
Emner	Lasers - Industrial applications Machining Microelectronic packaging Microelectronics - Design and construction Vis mer... Mikroelektronikk - Fotolitografi Mikromekanikk mikroelektronikk mikromekanikk mikroteknologi
ISBN	0849394511