Fundamental electron interactions with plasma processing gases
Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
Bok Engelsk 2004 L.G. Christophorou
| Utgitt | New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2004
|
|---|---|
| Omfang | xii, 776 s. : ill.
|
| Emner | |
| ISBN | 0306480379
|
