Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges
door Albert Manenschijn
Bok Engelsk 1991
Utgitt | [S.l.] : [s.n.] , [1991]
|
---|---|
Omfang | 147 s. : ill.
|
Opplysninger | Avh. (doktorgrad) - Technische Universiteit Delft, 1991.
|
Emner |
Utgitt | [S.l.] : [s.n.] , [1991]
|
---|---|
Omfang | 147 s. : ill.
|
Opplysninger | Avh. (doktorgrad) - Technische Universiteit Delft, 1991.
|
Emner |