Augér sputreprofilering og røntgen fotoemisjonspektroskopi-analyser for å bestemme sjikt-tykkelser i Pt/Al₂O₃ og Si/SiO₂ supergitter
Cecilie Berg
Bok Språk ikke angitt 1989
| Utgitt | Trondheim : SINTEF, Anvendt fysikk , 1989
|
|---|---|
| Omfang | 18, [6] bl. : ill.
|
| Emner | |
| ISBN | 8259554429
|
