Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications
Tommi Kääriäinen ... [et al.]
Bok Engelsk 2013
| Utgitt | Hoboken, N.J. : Wiley , 2013
|
|---|---|
| Omfang | XV, 253 s. : ill.
|
| Utgave | 2nd ed.
|
| Emner | |
| Dewey | |
| ISBN | 9781118062777
|
Tommi Kääriäinen ... [et al.]
Bok Engelsk 2013
