Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach

P. H. L. Notten, J. E. A. M. van den Meerakker, J. J. Kelly
Bok · Engelsk · 1991 P.H.L. Notten

Utgitt	Oxford : Elsevier , c1991
Omfang	XIV, 349 s. : ill.
Emner	Electrochemistry Semiconductors - Etching Etsing Halvledere (Elektronikk)
ISBN	0946395845