Laser microfabrication : thin film processes and lithography
edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
Bok Språk ikke angitt 1989
| Utgitt | Boston : Academic Press , c1989
|
|---|---|
| Omfang | xii, 587 s. : ill.
|
| Emner | Lasers - Industrial applications
Microlithography Thin film devices - Design and construction Elektronikk Vis mer... Fotolitografi : (NO-TrBIB)REAL005908
Komponenter Kretser Lasere Mikroelektronikk Mikrolitografi : (NO-TrBIB)REAL005908 Tynnfilmer : (NO-TrBIB)REAL013279 elektronikk mikroelektronikk komponenter integrerte kretser litografi lasere |
| ISBN | 0122334302
|
