Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

Brian Chapman
Bok · Engelsk · 1980

Utgitt	New York : Wiley , c1980
Omfang	xv, 406 s. : ill.
Emner	Elektrisk utladning - Gasser Overflatehinner Plasmafysikk Sputtering Vis mer... Tynnfilmer overflater tynne filmer plasmafysikk
ISBN	047107828X