Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization
Marc J. Madou
Bok Engelsk 2002
Utgitt | Boca Raton, Fla. : CRC Press , c2002
|
---|---|
Omfang | 723 s., pl. : ill.
|
Utgave | 2. ed.
|
Emner | |
ISBN | 0849308267
|
Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization
Marc J. Madou
Bok · Engelsk · 2002
Marc J. Madou
Bok · Engelsk · 2002