MEMS contour mode disk oscillator

Espen Eriksen
Bok · Bokmål · 2005

Utgitt	Oslo : E. Eriksen , 2005
Omfang	x, 106 s. : ill.
Opplysninger	Masteroppgave i fysikk - Universitetet i Oslo, 2005
Emner	fysikk elektronikk datateknologi mikroelektronikk mems mikro electromechanical systems