Modeling of the reactive sputter deposition process of Al₂O₃
Karol Macák
Bok Engelsk 1998
| Utgitt | Linköping : Linköpings universitet, Department of Physics and Measurement Technology , 1998
|
|---|---|
| Omfang | 1 b. (flere pag.) : ill.
|
| Opplysninger | Avhandling (tekn. lic.) - Linköpings universitet, 1998.
|
| Emner | |
| ISBN | 9172191953
|
