Reactive sputtering applied to microelectronic devices
Torbjörn Larsson by Torbjörn Larsson
Bok Engelsk 1988
| Utgitt | Uppsala : [Uppsala University] , 1988
|
|---|---|
| Omfang | 20 s. : ill.
|
| Opplysninger | Sammendrag av avhandling (doktorgrad) - Uppsala universitet, 1988.
|
| ISBN | 9155422160
|
