Testing av fotoresister for fine geometerier [sic]
D. J. Ruzicka og G. Paulsrud
Bok Bokmål 1981
| Utgitt | Oslo : Sentralinstitutt for industriell forskning , 1981
|
|---|---|
| Omfang | 52 bl. : ill.
|
| Opplysninger | Oppdragets tittel: Fotoresist for fine geometrier
|
| Emner | |
| ISBN | 8272673193
|
