Silisiumepitaksi og beslektede prosesser
Ø. Engebretsen, D. J. Ruzicka
Bok Bokmål 1976 Øivind Engebretsen
| Utgitt | Oslo : Sentralinstitutt for industriell forskning , 1976
|
|---|---|
| Omfang | 17, 18 bl. : ill.
|
| Opplysninger | Oppdragets tittel: Material- og prosessteknologi.
|
| Emner |
