Studies of the reactive sputtering process and CVD of diamond thin films


by Tomas Nyberg
Bok Engelsk 1997
Utgitt
Uppsala : [Uppsala University] , 1997
Omfang
43 s. : ill.
Opplysninger
Sammendrag av avhandling (fil. dr.) - Uppsala universitet, 1997.
ISBN
9155441068

Bibliotek som har denne