Studies of the reactive sputtering process and CVD of diamond thin films
by Tomas Nyberg
Bok Engelsk 1997
Utgitt | Uppsala : [Uppsala University] , 1997
|
---|---|
Omfang | 43 s. : ill.
|
Opplysninger | Sammendrag av avhandling (fil. dr.) - Uppsala universitet, 1997.
|
ISBN | 9155441068
|