Selected papers on optical microlithography

Harry L. Stover, editor
Bok · Engelsk · 1992

Utgitt	Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press , c1992
Omfang	xviii, 676 s. : ill.
Emner	Halvlederkomponenter - Produksjon Mikroelektronikk - Fotografi
ISBN	0819409855. - 0819409863