Sputtering by particle bombardment. 1. Physical sputtering of single-element solids
Bok Engelsk 1981
Utgitt | Berlin : Springer-Verlag , 1981
|
---|---|
Omfang | X,281 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 0387105212. - 3540105212
|
Utgitt | Berlin : Springer-Verlag , 1981
|
---|---|
Omfang | X,281 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 0387105212. - 3540105212
|