Sputtered carbon nitride thin films
Niklas Hellgren
Bok Engelsk 1999
| Utgitt | Linköping : Thin Film Physics Division, Department of Physics and Measurement Technology, Linköping University , 1999
|
|---|---|
| Omfang | XI, 152 s. : ill.
|
| Opplysninger | Avhandling (tekn. dr.) - Linköpings universitet, 1999
|
| Emner | |
| ISBN | 9172195975
|
