Chemical vapour deposition of tungsten from WF₆/SiH₄ and WF₆/GeH₄
door Cornelius Alexander van der Jeugd
Bok Engelsk 1992
| Utgitt | [S.l] : [s.n.] , [1992?]
|
|---|---|
| Omfang | x, 112 s. : ill.
|
| Opplysninger | Avh. (doktorgrad) - Technische Universiteit Delft, 1992
|
| Emner |
