Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Vol. 1. Microlithography

Bok · Engelsk · 1997

Utgitt	Washington : SPIE Optical Engineering Press , c1997
Omfang	VIII, 768 s.
Emner	Elektronikk - Produksjon Mikroelektronikk - Fotolitografi
ISBN	0819423785