Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges


door Albert Manenschijn
Bok Engelsk 1991
Utgitt
[S.l.] : [s.n.] , [1991]
Omfang
147 s. : ill.
Opplysninger
Avh. (doktorgrad) - Technische Universiteit Delft, 1991.
Emner

Bibliotek som har denne