The physics of micro/nano-fabrication

Ivor Brodie and Julius J. Muray
Bok · Engelsk · 1992

Utgitt	New York : Plenum Press , c1992
Omfang	xix, 650 s. : ill.
Emner	Microelectronics Thin-film circuits mikroelektronikk nanoteknologi
ISBN	0306441462