Semiconductor micromachining. Vol. 1. Fundamental electrochemistry and physics

Bok · Engelsk · 1998

Utgitt	Chichester : Wiley , c1998
Omfang	XII, 315 s.
Emner	Microfabrication Micromachining Semiconductors - Design and construction Halvlederkomponenter - Produksjon Integrerte kretser
ISBN	0471966819. - 0471980846