Semiconductor micromachining. Vol. 2. Techniques and industrial applications

Bok · Engelsk · 1998

Utgitt	Chichester : Wiley , c1998
Omfang	XII, 389 s.
Emner	Microfabrication Micromachining Semiconductors - Design and construction Halvlederkomponenter - Produksjon Integrerte kretser
ISBN	0471966827. - 0471980846