Ion beam assisted film growth

edited by Tadatsugu Itoh
Bok · Språk ikke angitt · 1989

Utgitt	Amsterdam : Elsevier , 1989
Omfang	xvii, 439 s. : ill.
Emner	Ion bombardment Semiconductor films Sputtering (Physics) Thin films, Multilayered Vis mer... Ionestråler Krystallisering Tynnfilmer tynne filmer krystallvekst ionestråler
ISBN	0444872809