High energy ion implantation for IC processing

door Sicco Oosterhoff
Bok · Språk ikke angitt · 1986

Utgitt	[S.l.] : [s.n.] , [1986]
Omfang	168 s. : ill.
Opplysninger	Avh. (doktorgrad) - Technische Hogeschool Twente, 1986.
Emner	Integrerte kretser Ioneimplantasjon