Augér sputreprofilering og røntgen fotoemisjonspektroskopi-analyser for å bestemme sjikt-tykkelser i Pt/Al₂O₃ og Si/SiO₂ supergitter
Cecilie Berg
Bok Språk ikke angitt 1989
Utgitt | Trondheim : SINTEF, Anvendt fysikk , 1989
|
---|---|
Omfang | 18, [6] bl. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 8259554429
|