Physical vapor deposition of thin films

John E. Mahan
Bok · Engelsk · 2000 John E.. Mahan

Utgitt	New York : Wiley , cop. 2000
Omfang	XIII, 312 s., pl. : ill.
Opplysninger	"A Wiley-Interscience publication."
Emner	Thin films Vapor-plating Fysisk dampdeponering Kinetisk gassteori Vis mer... Kinetisk teori : (NO-TrBIB)REAL006275 Sputtering Tynnfilmteknikk
Dewey	671.735
ISBN	0471330019