Enabling technology for MEMS and nanodevices
edited by H. Baltes ... [et al.]
Bok Engelsk 2004
Utgitt | Weinheim : Wiley-VCH , c2004
|
---|---|
Omfang | XII, 427 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 352730746X
|
Utgitt | Weinheim : Wiley-VCH , c2004
|
---|---|
Omfang | XII, 427 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 352730746X
|