Microsystem design
Stephen D. Senturia
Bok Engelsk 2001
| Utgitt | Boston : Kluwer Academic , c2001
|
|---|---|
| Omfang | XXVI, 689 s. : ill.
|
| Emner | Microelectromechanical systems - Design and construction
Microelectronics System design Elektronikk : (NO-TrBIB)REAL000162 Vis mer... Innebygde systemer
MEMS Mikro- og nanoelektromekaniske systemer : (NO-TrBIB)REAL013945 Mikroelektromekaniske systemer Mikroelektronikk Mikroteknologi mikroelektronikk mems mikroteknologi systemer |
| ISBN | 0792372468
|
