Lecture notes on principles of plasma processing
Francis F. Chen and Jane P. Chang
Bok Engelsk 2003
Utgitt | New York : Springer , 2003
|
---|---|
Omfang | ix, 208 s. : ill. ; + 1 CD-ROM
|
Emner | |
ISBN | 0306474972
|
Utgitt | New York : Springer , 2003
|
---|---|
Omfang | ix, 208 s. : ill. ; + 1 CD-ROM
|
Emner | |
ISBN | 0306474972
|