Introduction to microfabrication
Sami Franssila
Bok Engelsk 2004
| Utgitt | Chichester : Wiley , c2004
|
|---|---|
| Omfang | XVII, 402 s. : ill.
|
| Emner | MEMS
Mikroelektronikk mikrofabrikkering mikroteknologi mikroelektromekaniske systemer integrerte kretser mikrosensorer fotonkrystaller blekkskrivere solceller elektroniske apparater mems |
| ISBN | 0470851058. - 0470851066
|
