Wet chemical wafer cleaning of multicrystalline silicon = : Våtkjemisk rensing av multikrystallinske silisiumwafere
Margrethe Holmer Rein
Bok Engelsk 2007
Annen tittel | |
---|---|
Utgitt | Ås : [M.H. Rein] , 2007
|
Omfang | XVIII, 100 s. : ill., fig.
|
Opplysninger | Mastergradsoppgave i Fysikk, informatikk og matematikk (siv.ing.) Universitetet for miljø- og biovitenskap, Ås, 2007. - Sammendrag på engelsk og norsk
|
Emner |