Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology and applications

by Hugh O. Pierson
Bok · Engelsk · 1992

Utgitt	Westwood, N.J. : Noyes Publications , c1992
Omfang	XXII, 436 s. : ill.
Emner	Vapor-plating - Handbooks, manuals, etc kjemisk deponering plasmafysikk plasna halvledere
Dewey	671.735
ISBN	0815513003