Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications
Tommi Kääriäinen ... [et al.]
Bok Engelsk 2013
Utgitt | Hoboken, N.J. : Wiley , 2013
|
---|---|
Omfang | XV, 253 s. : ill.
|
Utgave | 2nd ed.
|
Emner | |
Dewey | |
ISBN | 9781118062777
|
Utgitt | Hoboken, N.J. : Wiley , 2013
|
---|---|
Omfang | XV, 253 s. : ill.
|
Utgave | 2nd ed.
|
Emner | |
Dewey | |
ISBN | 9781118062777
|