Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction

R. V. Stuart
Bok · Språk ikke angitt · 1983

Utgitt	New York : Academic Press , 1983
Omfang	viii,151 s. : ill.
Emner	Sputtering Tynnfilmteknikk Vakuumteknikk
Dewey	621.55
ISBN	0126747806