Silicon processing : a symposium sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, National Bureau of Standards, and Stanford University, San Jose, Calif., 19-22 Jan. 1982
D. C. Gupta, editor
Bok Engelsk 1983 Symposium on Silicon Processing
| Utgitt | Philadelphia, Pa. : ASTM , 1983
|
|---|---|
| Omfang | 559 s. : ill., diagr., fig.
|
| Opplysninger | Har bibliografi.. - Kongressens navn fra forordet.
|
| Emner |
