Characterisation of crystalline silicon for micromachining : in situ measurements of silicon etch rates, temperature dependence of the elastic constants of silicon
Elin Steinsland
Bok Engelsk 1998
Les boka på nett
Digital utgave: Søke-URL
| Utgitt | [Oslo] : Department of Physics, University of Oslo , 1998
|
|---|---|
| Omfang | 1 b. (flere pag.) : ill.
|
| Opplysninger | Delvis opptrykk av artikler. - Avhandling (dr. scient.) - Universitetet i Oslo, 1998
|
| Emner | Elektronikk : (NO-TrBIB)REAL000162
Etsing Mikroelektronikk Nanoteknologi Vis mer... Silisium
Etsing((NO-TrBIB)REAL000688) Nanoteknologi((NO-TrBIB)REAL012457) Silisium((NO-TrBIB)REAL012199) krystallinsk silisium etsing mikroelektronikk nanoteknologi avhandlinger |
| Dewey |
