Deep ion implantation for bipolar silicon devices : investigations into the use of the third dimension
door Antoni Johan Mouthaan
Bok Språk ikke angitt 1986
| Utgitt | [S.l.] : [s.n.] , [1986]
|
|---|---|
| Omfang | 127 s. : ill.
|
| Opplysninger | Avh. (doktorgrad) - Technische Hogeschool Twente, 1986.
|
| Emner |
