Microlithography : science and technology

edited by James R. Sheats, Bruce W. Smith
Bok · Engelsk · 1998

Utgitt	New York : Marcel Dekker , c1998
Omfang	XII, 780 s. : ill.
Emner	Integrerte kretser - Produksjon Mikroelektronikk - Fotolitografi
ISBN	0824799534