High growth rate epitaxy of SiC : growth processes and structural quality


Mikael Syväjärvi
Bok Engelsk 1999
Utgitt
Linköping : Department of Physics and Measurement Technology, Linköpings universitet , 1999
Omfang
162 s. : ill.
Opplysninger
Avhandling (tekn. dr.) - Linköpings tekniska höskola, 1999
Emner
ISBN
9172195924

Bibliotek som har denne