High growth rate epitaxy of SiC : growth processes and structural quality
Mikael Syväjärvi
Bok Engelsk 1999
Utgitt | Linköping : Department of Physics and Measurement Technology, Linköpings universitet , 1999
|
---|---|
Omfang | 162 s. : ill.
|
Opplysninger | Avhandling (tekn. dr.) - Linköpings tekniska höskola, 1999
|
Emner | |
ISBN | 9172195924
|