Deposition and growth : limits for microelectronics : Anaheim, CA 1987
editor: G. W. Rubloff
Bok Språk ikke angitt 1988
| Utgitt | New York , 1988
|
|---|---|
| Omfang | 388 s. : ill.
|
| Opplysninger | Symposiet er kalt Topical Conference on Deposition and Growth: Limits for Microelectronics i forordet.
|
| Emner | |
| ISBN | 0883183676
|
