Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization


Marc J. Madou
Bok Engelsk 2002
Utgitt
Boca Raton, Fla. : CRC Press , c2002
Omfang
723 s., pl. : ill.
Utgave
2. ed.
Emner
Mikroelektronikk - Fotolitografi
Mikromekanikk
mikroelektronikk mikromekanikk mikroteknologi mems
ISBN
0849308267

Andre utgaver/formater


Bibliotek som har denne