On submicron electron beam lithography using field emission cathodes
by Göran Stille
Bok Språk ikke angitt 1980
| Utgitt | Stockholm : Institutionen för tillämpad elektronik, Kungl. tekniska högskolan , [1980?]
|
|---|---|
| Omfang | 10 bl.
|
| Opplysninger | Har bibliografi.. - Sammendrag av diss. Kungl. tekniska högskolan.
|
| Emner |
