Fundamentals of semiconductor fabrication

Gary S. May, Simon M. Sze
Bok · Engelsk · 2004

Utgitt	Hoboken, N.J. : Wiley , c2004
Omfang	XIII, 305 s. : ill.
Emner	Halvlederkomponenter - Produksjon halvledere
ISBN	0471232793. - 0471452386